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隨著國內(nèi)半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對高純度氣體，特別是高純度特種氣體的要求越來越高，對氣體質(zhì)量的要求也越來越高。大多數(shù)特種氣體都是有毒、易燃易爆、高腐蝕性和高氧化性的，如H2Se、SiH4、Cl2和NF3。因此，如何安全、穩(wěn)定、可靠地儲存和運(yùn)輸特種氣體越來越受到公司的重視。
1.5運(yùn)行管理中的特種氣體的幾種分類方法是指由高純元素氣生產(chǎn)的純氣體、高純氣體或二元或多組分混合氣體，適用于特定領(lǐng)域，對氣體有特殊要求。特種氣體的類型是任何安全操作和管理的基礎(chǔ)。在儲存、操作和處置氣體之前，您需要了解特殊氣體的安全數(shù)據(jù)表。根據(jù)MSDs，特種氣體可通過多種方式進(jìn)行分類。為了便于特種氣體的操作和管理，介紹了以下分類方法。
1.根據(jù)特殊氣體的狀態(tài)，特殊氣體在運(yùn)輸、儲存和運(yùn)輸過程中充入壓力容器。氣體充滿壓力容器的所有角落，罐壁上的壓力平衡。在一般填充壓力和溫度下始終以氣體形式存在的氣體稱為永久氣體，而液化氣體稱為液化氣體。液化石油氣分為兩類：高壓液化氣，如HCl和N2O；由于當(dāng)使用永久性氣體時(shí)，壓力容器中的壓力逐漸降低，并且當(dāng)使用液化氣體時(shí)，只要壓力容器中有液體，壓力就不會改變，因此在氣體操作管理中，監(jiān)測永久性氣體的剩余量的方法是壓力監(jiān)測，而液化氣體的殘余量必須配備電子秤和重量監(jiān)測程序。
2.根據(jù)特殊氣體的比重計(jì)算的比重也稱為相對密度。氣體比重是指標(biāo)準(zhǔn)條件下氣體密度與空氣密度之比。在特殊氣體的操作中，氣體的分子量可以直接反映氣體的比重。空氣分子量為28.8。以空氣分子量作為分離點(diǎn)，工業(yè)H2、he、NH3、CH4等中比空氣輕的常見氣體接近。一比空氣重的氣體包括AsH3、PH3、SiH4、CF4等。這兩種氣體的運(yùn)行和管理模式不同。例如，儲氣罐中比空氣輕的氣體的排氣位置和氣體取樣點(diǎn)位于氣缸上方，而比空氣重的氣體的排放位置和氣體采樣點(diǎn)位于氣缸下方。應(yīng)注意的是，運(yùn)行中的氣體通常處于非標(biāo)準(zhǔn)條件下，因此分子量與空氣相似的氣體在不同溫度下有例外，如常溫或高溫N2比空氣輕。并且冷N2比空氣重。
要計(jì)算混合物的分子量，首先確定混合物的氣體成分和每種組分氣體的分子量。例如，計(jì)算1%PH3的分子量，PH3分子量為34，分子量為4。計(jì)算公式如下：34×0.01+4×0.99=4.3
3.根據(jù)特殊氣體的化學(xué)性質(zhì)，特殊氣體可分為惰性氣體、可燃?xì)怏w、自燃?xì)怏w、氧化氣體和腐蝕性氣體。工業(yè)中廣泛使用的惰性氣體包括CF4、C4F8、SF6、AR、CO2、er、Xe、NE等。易燃?xì)怏w包括AsH3、B2H6、NH3、TEOS和TMB；自燃?xì)怏w包括SiH4、PH3等。氧化氣體包括No、NF3等。腐蝕性氣體包括HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是，許多特殊氣體同時(shí)具有上述兩種性質(zhì)，如SiH2Cl2和SiHCl3，它們都是易燃和腐蝕性氣體。例如，Cl2和F2同時(shí)具有腐蝕性和氧化性。
一般而言，在半導(dǎo)體、光伏和其他行業(yè)中，在其主要設(shè)施的一樓修建了特殊的氣室，并根據(jù)所用氣體的類型和特性對各種氣室進(jìn)行了劃分。
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